Устройство загрузки и выгрузки пластин

В процессе производства полупроводников Loadport используется в качестве ключевого интерфейса для загрузки и разгрузки кристаллических кругов, что напрямую влияет на производительность и производительность. По мере того, как полупроводниковый процесс продолжает совершенствоваться, клиенты предъявляют более высокие требования к точности, совместимости, коммуникационным возможностям и эффективности работы устройств Loadport. Традиционные системы управления, использующие архитектуру « верхней машины + PLC», уже не могут удовлетворить потребности современного интеллектуального производства и срочно нуждаются в более эффективных и интеллектуальных решениях.